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国际特种气体的技术特点和发展趋势
被引量:
2
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摘要
前言根据联合国开发计划署对我所的援助计划,近年来,我们先后对英、法、西德、美国和日本的特种气体行业进行了技术考察。现仅根据考察中的见闻和观感,对当前国际特种气体的技术特点和发展趋势作综合评述如下。一、特种气体的技术构成特种气体主要包括以下四大类別:(1)各种高纯和超高纯单元气。(2)
作者
陈锦铭
机构地区
北京市特种气体研究所
出处
《低温与特气》
CAS
1989年第1期1-7,共7页
Low Temperature and Specialty Gases
关键词
气体
分类号
TB714 [一般工业技术—真空技术]
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低温与特气
1989年 第1期
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