GaAs低能Si^＋及SiF^＋离子注入研究
被引量：1
同被引文献4
-
1关安民,李钧,石华君,罗潮渭,夏冠群.低能全元素离子注入机[J].微细加工技术,1993(3):12-16. 被引量：2
-
2李琼,袁美英,汤世豪,徐静芳,付勇,张锻,吴俊雷.硅薄膜场发射阴极的制造和性能[J].微细加工技术,1993(3):58-65. 被引量：1
-
3林成鲁，核技术，1988年，11卷，8期，1315页
-
4程玉华,王阳元.甚大规模集成电路制造中的离子注入技术[J].微细加工技术,1991(3):50-57. 被引量：5
-
1关安民,沈鸿烈.GaAs低能Si^＋及SiF^＋离子注入研究[J].上海微电子技术和应用,1997(1):19-22.
-
2关安民,李钧,石华君,夏冠群,沈鸿烈,江炳尧,朱南昌,陈酋善.GaAs低能Si^+及SiF^+离子注入研究[J].微细加工技术,1993(3):23-27.
-
3甘德昌.等离子体蚀刻中离子轰击对氟化硅表面层的影响[J].等离子体应用技术快报,1995(2):18-19.
-
4袁博.协作通信中基于Turbo编码的软信息解码转发技术[J].数字通信世界,2015(9):23-26.
-
5热处理与表面处理工艺[J].电子科技文摘,2003,0(1):27-27.
-
6SIF限幅放大及检波TA733P[J].微电子技术,1993,23(3):123-125.
-
7李民,寒冰.SiCl4／SiF4等离子体的SRIE[J].等离子体应用技术快报,1994(12):6-7.
-
8邱晓光.VCD→DVD→数字电视变化之路[J].科学时代,2005(05S):42-42.
-
9罗煜,李靖华,余松煜.一种由CIF到PAL制的视频编码器[J].数据采集与处理,1997,12(1):61-64.
-
10田丰年.D29FA12-AKM数字高清电视信号流程及总线调试[J].家电维修,2007(12):58-60.
;
