“实时综合修正”数据处理方法在激光干涉测长中的应用

激光干涉测长中的长度计算公式一般多数采用L=(λ_(He-Ne)/8)·N进行计算的。式中L为被测长度,λ_(He-Ne)为He—Ne激光波长,N为激光干涉条纹变化次数。从这个公式可以看出,要取得准确的长度测量,首先必须要取得其准确的波长数,可以说λ_(He-Ne)取得越准确,L也就能达到越准确。人们传统处理问题的方法,一般是通过各种传感器对外界环境参数测试后用n(T、P、F、K)(即典型的Edlin)公式进行计算取得的。但必须指出,T、P、F、K的取得是有误差的,这个误差表现在环境参数的变化和传感器的实时准确测量与否,其二,n(T、P、F、K)公式也是近似计算的经验公式。可以想象想取得λ_(He-Ne)(空气波长)越准确,所花的代价也就越大。这对一般用户使用带来很大的不便。长期实践也证明了这一点。