几何量与光栅技术进展

随着现代化大生产的发展,现代高科技大型工程项目(如大型天文望远镜等)的研制,迫切盼望解决高精度、高效率、自动化计量仪器。从而,各种自动在线测量仪器,精确测量各种大型高精度复杂零部件(如大规模集成电路等)新仪器应运而生,其计量范围可大到几十米到毫微米级,并要求相应的高精度和高可靠性作保证。用光学法构成的不接触,高灵敏度、高精度实时处理系统极大地促进了二维和三维自动测量和在线计量,并已广泛地应用于静动态的几何量计量中。微电子技术同光学和精密机械相结合,使仪器性能,结构、效率可靠性和智能化程度得到提高,标准化、系列化、组合化和小型化的仪器设计,极大地提高了仪器的经济效益和社会效益。