当代高纯半导体材料分析的进展(一)

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摘要本文评述了1983~1993年半导体硅材料、高纯元素、化合物半导体等高纯半导体材料的分析进展。

作者李昌世

机构地区峨嵋半导体材料研究所

出处《四川有色金属》 1994年第2期38-49,共12页 Sichuan Nonferrous Metals

关键词半导体硅材料高纯元素化合物半导体分析

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四川有色金属

1994年第2期

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