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厚膜沉积技术

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作者王道生

出处《四川真空》 1994年第2期6-9,共4页

关键词厚膜沉积真空镀膜

分类号 O484.1 [理学—固体物理]

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1缪同群.可见区的高级减反射膜:各种沉积技术的比较[J].光机电信息,1999,16(4):1-3.
2孙平.真空镀制窄带滤光片的几个关键问题[J].实验技术与管理,1996,13(2):85-86.
3许培忠,严义埙.锗膜沉积工艺的实验研究[J].红外研究,1989,8(5):343-348.
4李春,金春水,靳京城,常艳贺.193nm P偏振光大角度减反射膜的实现[J].中国激光,2013,40(9):152-156. 被引量：4

四川真空

1994年第2期

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