高真空电阻加热蒸发铝膜的质量分析
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6郑建邦,曹猛,吴洪才.气相沉积法制备聚酰亚胺薄膜的光、电特性研究[J].光电子技术与信息,2001,14(5):29-33. 被引量:4
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