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明场和暗场光学对准比较研究

COMPARISON OF BRIGHT-FIELD ALIGNMENT WITH DARK-FIELD ALIGNMENT
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摘要 本文从对准象及其对精度的影响这二个方面,对明场和暗场二种光学对准方式作比较分析,指出暗场对准是一种理想的对准方式,并阐述了引起这一结果的原因。 After Comparing the Dark-field alignment with Bright-field alignment from the image and it's effect on the precision, the result is that the Dark-field alignment is the ideal type. The reason of it is afso given.
作者 沈雁
机构地区 苏州大学激光室
出处 《苏州大学学报(自然科学版)》 CAS 1994年第3期258-261,共4页 Journal of Soochow University(Natural Science Edition)
关键词 明场 暗场 几何光学 对准成象 dark-field alignment, bright-field alignment .alignment precision.
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