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热解石墨在电子工业中的应用与展望 被引量:4

APPLICATIONS AND PROSPECTS OF PYROL YSIS GRAPHITE IN ELECTRONICS INDUSTRY
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摘要 以栅极为例,描述了热解石墨的物理性能,进而阐述了热解石、圣在电子及半导体工业中的应用,并对其应用前景进行了展望。 Abstract:The physical properties of pyrolysis graphite were described taking grid for exalnple.Applteations of pyrolys is graphit e were expounded in elecotronics ard semiconductor industry and its application future was looked forward.
作者 周福臣
出处 《炭素》 1994年第1期46-48,共3页 Carbon
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