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微型机电继电器研究进展

Developing Trends of New Electromechanical Relays

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摘要微型化是机电继电器最重要的发展方向之一,MEMS设计和制造技术的进展开辟了机电继电器微型化的崭新途径。本文系统介绍了典型MEMS继电器的研究进展,简要地比较、评述了它们的优势和缺点。

作者张东梅丁桂甫姜政

机构地区上海交通大学微纳米科学技术研究院

出处《电子产品世界》 2005年第03A期112-114,122,共4页 Electronic Engineering & Product World

基金国家高技术研究发展计划(863)项目(2003AA404140) 信息产业部电子科学研究院基金资助项目(0241308050116)

关键词机电继电器微型机 MEMS 微型化系统设计新途径制造技术

分类号 TM58 [电气工程—电器]

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2005年第03A期

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