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国内力敏传感器的研究进展被引量：1

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摘要近年来，国内力学量传感器的研究与应用已有较大进展，研究内容不断深入，研究范围不断拓宽，器件结构新颖，性能与可靠性有所提高，使应用领域再行扩大．

作者张桂成

机构地区中科院上海冶金研究所

出处《传感技术学报》 CAS CSCD 1992年第1期38-42,共5页 Chinese Journal of Sensors and Actuators

关键词力学量传感器力敏传感器研究进展器件结构器件性能

分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]

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传感技术学报

1992年第1期

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