Micronic与ASML就光掩膜蚀刻技术签署合作协议

瑞典Micronic Laser Systems AB公司日前表示，该公司与荷兰ASML Netherlands公司最近签署了一项授权协议，授予ASML以Micronic在空间光调制器和数据通道技术领域的专利产品组合为基础，面向半导体应用推广光学掩膜蚀刻的权利。