21世纪的硅微电子技术展望

本文以发达国家的中长期重点研究课题和其雄心勃勃的各种振兴微电子产业。规划及国际电子器件会议上的最新报道为前提，对21世纪以硅集成电路为核心的硅微电子技术的发展前景进行了展望。