电子束探测技术在VLSI诊断中的应用

随着IC进入VLSI/ULSI领域,其几何线条精度小于1微米时,用常规的机械式探针已很难对其内部工作状态进行直接而准确地探测诊断;而电子束探测,EB—P(Electron BeamProbe)技术由于其在这一领域的适用性而在国外获得了广泛的应用,本文概述了这方面的技术和应用并附带地说明了EB—P的引入对IC工艺和设计提出的限制。