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日本半导体制造设备市场一瞥

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摘要 简要介绍1991年以来日本半导体制造设备市场的概况,CVD设备、清洗设备、半导体测试设备市场的困境与发展潜力。预计日本半导体制造设备市场还会平淡一段时间,但有些设备的出口潜力很大。
作者 王毅
出处 《微电子技术》 1994年第2期48-54,共7页 Microelectronic Technology

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