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SOI前途如何

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作者陶建中白水

出处《微电子技术》 1994年第3期48-50,47,共4页 Microelectronic Technology

关键词 SOI 集成电路制造 CMOS器件

分类号 TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]

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微电子技术

1994年第3期

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