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SiGe与SOI：模拟／混合信号电路的先导技术

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摘要ＳｉＧｅ与ＳＯＩ：模拟／混合信号电路的先导技术亦然摘编在当今众多模拟／混合信号工艺技术中，又出现两种新兴技术。这就是正在崭露头角的硅－锗异质结双极晶体管（ＳｉＧｅＨＢＴ）工艺和已经在大多数先进的互补双极（ＣＢ）工艺中大显身手的绝缘体上硅（ＳＯＩ）技术...

出处《微电子学》 CAS CSCD 1994年第3期69-71,共3页 Microelectronics

关键词 SIGE SOI 模拟电路混合信号电路

分类号 TN431.1 [电子电信—微电子学与固体电子学]

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微电子学

1994年第3期

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