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电子级高纯气体输送系统被引量：5

Overview of Electronic Grade High Purity Gas Delivery System

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摘要从系统设计角度,论述了电子级高纯气体输送系统的主要设备,气体纯化器选型,输送管道、管件和阀门的材料和型式,安装施工验收的技术指标,以及微量污染的来源及控制措施等。

作者李东升

机构地区上海正帆超净技术有限公司

出处《电子工业专用设备》 2005年第2期56-58,共3页 Equipment for Electronic Products Manufacturing

关键词高纯气体纯化输送系统微量污染

分类号 TQ028.26 [化学工程]

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电子工业专用设备

2005年第2期

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