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蚀刻技术

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摘要蚀刻技术（日本电气）平川克则金子若彦木下胜行１引言薄膜晶体管液晶显示器（ＴＦＴ－ＬＣＤ）以其图像清晰、超薄型、重量轻、耗电少等优点，将成为下一代显示器件的主流。为了满足ＬＣＤ在大型化、色调好、亮度高、耗电少和价格低等方面更严格的要求，对工艺技术的要求...

作者杨基南

出处《微细加工技术》 1994年第1期45-50,共6页 Microfabrication Technology

关键词液晶显示器薄膜晶体管 TFT-LCD 蚀刻

分类号 TN873.93 [电子电信—信息与通信工程]

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微细加工技术

1994年第1期

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