量子线与量子点微结构的选择生长制备技术被引量：5

FABRICATION TECHNOLOGY OF QUANTUM WIRE AND DOT MICROSTRUCTURE BY SELECTIVE GROWTH

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摘要本文介绍了用于制备量子线和量子点微结构的选择区域外延和精细束加工技术，并评述了今后研究与发展方向。 Iu this paper, We briefly review selective-area epitaxy and fine beamprocessing for fabrication of quantum wire and dot microstnictures and pointout its reSearch and development trend.

作者彭英才李星文

机构地区河北大学电子与信息工程系

出处《微细加工技术》 1994年第3期32-42,共11页 Microfabrication Technology

关键词量子线与量子点选择区域外延精细束加工 quantum wire and dot,selective-area epitaxy fine beamfabrication

分类号 TN304.054 [电子电信—物理电子学]

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微细加工技术

1994年第3期

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