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薄膜镱压力传感器的特性与制造

CHARACTERS AND PREPARATION OF THIN FILM YTTERBIUM STRESS TRANSDUCERS
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摘要 镱压力传感器在0─3GPa范围内,与锰铜传感器和碳阻传感器相比,更适合于冲击波的动态测量。用微细加工技术制造的薄膜镱传感器,兼有镱材材和薄膜器件的优异特点。本文叙述了镱传感器的特性与制造。 Ytterbium stress transducers,compared with manganin and carbon gauge, are more suitable for dynamic measurement of shock wave in 0-3 GPa range。Thin film ytterbium stress tranducers preparated by microfabrication techno-logy have the advantages of both ytterbium material and thin film devics。The characters and preparation of the transducers are described。
作者 熊兴邦
机构地区 电子工业部第
出处 《微细加工技术》 1994年第4期80-86,共7页 Microfabrication Technology
关键词 压力传感器 薄膜镜传感器 特性 制造 shock wave measurement Yb stress transducer thin film sensor
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参考文献1

  • 1熊兴邦.薄膜镱应力传感器[J]爆炸与冲击,1991(01).

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