0.2～1μmIC生产线中二手Stepper解决方案

Secand-Hand Stepper Solution in 0.2～1 μm IC Fab

通过对国内IC生产线及其Stepper装备的现状、市场前景的分析,阐述了国内0.2～1μmIC生产线中二手Stepper解决方案。