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微电子工业用超高纯丙烷的工业化生产

The Industrial-Scale Process of High Purity Propanefor Micro-Electronic Industry
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摘要 根据丙烷原料特点,采用吸附、催化加氢和精馏相结合的方法,研制出纯度≥99 995%的高纯丙烷,满足了微电子工业对高纯丙烷的质量要求。 According to the characteristic of propane material ,the high purity propane (≥99.995%)is produced by new purifying method integrated with adsorption ,catalysis and distillation , which can satisfy the needs of micro-electronic industry.
出处 《低温与特气》 CAS 2005年第1期32-33,共2页 Low Temperature and Specialty Gases
基金 国家"十五""863"超纯氨研究与产业化生产专题
关键词 高纯丙烷 吸附 催化 精馏 微电子工业 high purity propane adsorption catalysis distillation micro-electronic industry
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