等离子体源离子注入（Ⅱ）──技术扩展和初步研究结果被引量：4

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摘要等离子体源离子注入（Ⅱ）──技术扩展和初步研究结果汤宝寅（哈尔滨工业大学，哈尔滨１５０００６）在ｐｓｌｌ前期研究工作上，我们主要集中在室温下气体离子注入，主要是氮离子注入。初步研究结果表明，ＰＳＩＩ氮离子注入能够显著提高某些材料的表面硬度和抗磨损特性...

作者汤宝寅

机构地区哈尔滨工业大学

出处《物理》 CAS 北大核心 1994年第2期106-111,共6页 Physics

关键词等离子体源离子注入钛合金

参考文献4

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物理

1994年第2期

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