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特细金丝生产及其表面质量控制

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摘要 在半导体元件生产中,硅片电极与引线之间的金属连接焊丝,采用特细金丝,这是由金的优良材料特性决定的。作为焊线金丝除必须符合特定的性能要求外,其表面质量也不能忽视,才能满足作为晶体管、集成电路焊线的使用要求。下面就特细金丝生产中诸多表面质量控制作些简介。
作者 朱荣兴
出处 《集成电路应用》 2005年第3期69-73,共5页 Application of IC
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