MOCVD系统中的在位实时监测──自动光度椭偏仪的应用

提出了一种用于ＭＯＣＶＤ系统在位实时监测的快速、自动、旋转检偏式激光椭偏仪（ＲＡＥ）。这种椭偏仪可由常规手动消光椭偏仪改装而成。阐述了它的工作原理、数据采集方法和数据处理程序。最后讨论了与ＭＯＣＶＤ生长过程的在位实时监测有关的问题。如光学窗口、反应器管壁沉积物及其它误差来源。