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降低GaAs红外激光窗口材料吸收系数新工艺 被引量:2

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摘要 降低GaAs红外激光窗口材料吸收系数新工艺黎建明,王岩,钱嘉裕(北京有色金属研究总院国家半导体材料工程研究中心100088)(一)前言在制备高度透明的高功率激光器透镜和窗口元件时,要求窗口材料和镀膜层的光吸收所引起的破裂损坏和光畸变很小。若要提高材料...
出处 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 1994年第6期460-462,共3页 Chinese Journal of Rare Metals
  • 相关文献

参考文献1

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同被引文献12

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引证文献2

二级引证文献2

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