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降低GaAs红外激光窗口材料吸收系数新工艺
被引量:
2
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摘要
降低GaAs红外激光窗口材料吸收系数新工艺黎建明,王岩,钱嘉裕(北京有色金属研究总院国家半导体材料工程研究中心100088)(一)前言在制备高度透明的高功率激光器透镜和窗口元件时,要求窗口材料和镀膜层的光吸收所引起的破裂损坏和光畸变很小。若要提高材料...
作者
黎建明
王岩
钱嘉裕
机构地区
北京有色金属研究总院国家半导体材料工程研究中心
出处
《稀有金属》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1994年第6期460-462,共3页
Chinese Journal of Rare Metals
关键词
吸收系数
砷化镓
窗口材料
激光器
分类号
TN248.104 [电子电信—物理电子学]
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稀有金属
1994年 第6期
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