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能在高温下测量的SOI型压力传感器被引量：1

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摘要能在高温下测量的ＳＯＩ型压力传感器长谷裕二等１．开发过程当前半导体压力传感器大多用于油压、气压等的压力测量，它的特点是灵敏度高、精度高以及应用半导体制造工艺能够大量地低成本地生产，因此广泛用于汽车发动机控制、空调及吸尘器等家用电器以及医疗设备等各个领...

作者载风

出处《现代计量测试》 1994年第2期47-48,40,共3页 Modern Measurement and Test

关键词高温测量压力传感器

分类号 TH812 [机械工程—精密仪器及机械]

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1何平.高温下湿度测量[J].国外计量,1992(5):43-44.
2Wikst.,V 肖晖.低温下脂润滑滚动轴承起动和稳态时的摩擦力矩：第一部分：参数研究[J].国外轴承技术,1997(3):46-56. 被引量：1
3李添祥,黎廷新,何锐裕.聚四氟乙烯膨胀节性能的试验研究[J].压力容器,1995,12(3):26-30. 被引量：4
4陈曦,季宏,姚普光.危险品恒温压力测试仪的开发[J].自动化与仪表,2003,18(1):25-26.

现代计量测试

1994年第2期

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