200502 钛升华泵气净化设备

本实用新型公开了一种钛升华泵，它是由泵壳、泵壳上的抽气口、线状通电蒸发源、挡板、电源组成。所述档板是设置在抽气口与线状通电蒸发源前部之间的空间里，挡板的外周在线状通电蒸发源后部与抽气口边缘形成的封闭曲面以外。本实用新型具有抽速大、结构简单、运行费用低、使用寿命长的特点。