摘要
介绍了用于大范围高精度纳米测量的方法和当前的发展动态。给出了大范围高精度纳米测量所取得的成果及具体的仪器装置。提出了一种基于合成波长条纹细分原理的新颖的纳米测量方法,在数十毫米的测量范围内,理论上可以达到1/440000的细分系数。
The methods for long-range and high-accuracy nanometer measurement are introduced, and some typical devices are displayed. A novel method for long-range and ultrahigh-accuracy nanometer measurement is proposed based on the principle of fringe subdivision by use of a synthetic wavelength with a subdivision factor of up to 1/440000.
出处
《光学技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第2期302-305,308,共5页
Optical Technique
基金
国家自然科学基金资助项目(50275138)
关键词
纳米测量
光学干涉仪
自混频干涉
扫描探针显微镜
合成波长
nanometer measurement
optical interferometer
self-mixing interferometer
SPM
synthetic wavelength
