摘要
由于太阳能电池市场需求的增长，用于太阳能电池级(SoG)的传统硅源供应不足，故都在大力寻找经济的硅源替代品。日本德山株式会社(Tokuvama Corp．)开发成功一种生产SoG多晶硅的蒸汽一液体沉积(VLD)工艺，此项目是由日本新能源和工业技术开发组织(New Energy & Industrial Technology Development Organization)资助的。
出处
《现代化工》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第3期70-70,共1页
Modern Chemical Industry
