摘要
用于信号采集的传感器在石油勘探中是一个很重要的设备。本文主要介绍了一种新的石油勘探MEMS传感器的结构特点、介质材料以及封装方式,并详细地介绍了该产品的主要技术指标。
Sensor used for Signal acquisition is important equipment for oil exploration. The paper mainly introduced a new MEMS sensor of oil exploration,characters of MEMS sensor structure, medium material and sealed form as well as already reached technical indexes.
出处
《物探装备》
2005年第1期1-5,共5页
Equipment for Geophysical Prospecting
基金
863项目中的一个研究课题课题编号:2004AA404210
