摘要
介绍了部分耗尽型 SOI MOS 器件浮体状态下的 Kink 效应及对模拟电路的影响。阐述了 4 种常用体接触方式及其他消除部分耗尽型 SOI MOS 器件 Kink 效应的工艺方法,同时给出了部分耗尽型 SOIM O S F E T 工作在浮体状态下时模拟电路的设计方法。
The Kink effect of the partial-depleted SOI MOSFET and the influence on SOI analog circuits design are introduced. The manufacturing methods suppressing Kink effect including four types of body-contact and some other ways are described. Meanwhile, the simulation circuit design methods of part depletion type of SOI MOSFET under floating state are discussed.
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第4期54-57,共4页
Semiconductor Technology