64×64元GaN基紫外图像传感器的设计
被引量：1
摘要
介绍了64×64元GaN基紫外图像传感器的结构设计和制作过程，以及需要注意的关键技术。
出处
《半导体光电》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第B03期70-72,136,共4页
Semiconductor Optoelectronics
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