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溶胶一凝胶工艺对PZT铁电薄膜结构的影响 被引量：8

Influence of Sol-Gel Process on Structure of PZT Ferroelectric Thin Film
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摘要 本文阐述了用溶胶一凝胶法制备锆钛酸铅（ＰＺＴ）铁电薄膜的工艺参数对薄膜结构的影响。实验表明，采用合适的工艺参数能制备出具有钙钛矿型结构的ＰＺＴ铁电薄膜。 This paper formulated the influence of Sol-Gel process parameters on structure of PZT ferroelectric thin film.The experiments show that the PZT ferroelectric thin film with pe-roskite structure can be produced using reasonable process parameters.
作者 何恩培 刘梅冬 卢春如
机构地区 华中理工大学固体电子学系
出处 《压电与声光》 CSCD 北大核心 1994年第5期44-47,共4页 Piezoelectrics & Acoustooptics
关键词 溶胶-凝胶工艺 铁电薄膜 锆钛酸铅 PZT sol-Gel process,ferroelectric thin film,PZT
分类号 TM223 [一般工业技术—材料科学与工程]
  • 相关文献

参考文献1

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同被引文献46

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引证文献8

二级引证文献28

压电与声光
1994年 第5期

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