摘要
本文阐述了用溶胶一凝胶法制备锆钛酸铅(PZT)铁电薄膜的工艺参数对薄膜结构的影响。实验表明,采用合适的工艺参数能制备出具有钙钛矿型结构的PZT铁电薄膜。
This paper formulated the influence of Sol-Gel process parameters on structure of PZT ferroelectric thin film.The experiments show that the PZT ferroelectric thin film with pe-roskite structure can be produced using reasonable process parameters.
出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
1994年第5期44-47,共4页
Piezoelectrics & Acoustooptics