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电化学腐蚀法制备针尖的试验研究 被引量:12

Experimental research on tips preparation using electrochemical etching
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摘要 用电化学腐蚀法制备微小尺寸的针尖,在深入分析电化学腐蚀原理的基础上,采用检测电流变化率的方法对腐蚀过程进行控制,使切断时间控制在微秒级以下,并对试验参数(如,电压、电极丝浸入溶液深度、溶液浓度等)对试验结果的影响进行了分析,制作出尺寸在微米级以下的针尖。 Preparation of small sized tips is obtained using electrochemical dissolution.Based on the understanding of the principle of electrochemical etching,the ratio of current change is detected to control the dissolution process;cutoff time is limited below microsecond.Effects of the applied voltage,immersed depth and electrolyte concentration on the size of tips are discussed.Tips less than micrometer is fabricated.
出处 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2005年第3期24-26,共3页 Journal of Transducer Technology
基金 航空科学基金重点资助项目(04H52055)
关键词 电化学腐蚀 针尖 电流变化率控制法 针尖质量 electrochemical etching tips ratio of current change tips quality
  • 相关文献

参考文献5

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共引文献2

同被引文献80

引证文献12

二级引证文献17

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