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磨粒

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摘要 Modelling the entrainment and motion of particles in a gap: application to abrasive wear, Multi-Scale Characterization of Pad Role on Material Removal Rate in CMP, Multiscale material removal modeling of chemical mechanical polishing,Multiscale mechanical modeling of CMP, Simulation of organic coating removal by particle impact,The effect of cutting jet variation on surface striation formation in abrasive water jet cutting.
出处 《金属加工工艺与设备:英文版》 2005年第1期38-40,共3页
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