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微波等离子体处理装置、等离子体处理方法以及微波发射部件

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摘要在处理容器的内部，设有装载台，用来装载半导体晶片(W)。微波发生器产生微波，通过平面天线部件导入到处理容器内。平面天线部件具有沿若干圆周排列的若干贯通孔，

作者大见忠弘

机构地区日本东京毅力科创株式会社

出处《表面技术》 EI CAS CSCD 2005年第2期65-65,共1页 Surface Technology

关键词微波等离子体处理装置部件微波发射处理方法平面天线半导体晶片微波发生器贯通孔容器装载

分类号 TN823.27 [电子电信—信息与通信工程] O484.1 [理学—固体物理]

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表面技术

2005年第2期

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