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透明导电薄膜用靶、透明导电薄膜及其制造方法、显示器用电极材料、有机电致发光元件和太阳能电池
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摘要
一种连明导电薄膜用靶,其具有氧化铟作为其主要组分并含有钨和/或钼,其中通过使氧化铟粉末和氧化钨粉末和/或氧化钼粉末成形.然后加热并烧结该成形体,使得溅射后的薄膜具有氧化铟作为主要组分,并含有原子比(W+Mo)/In为0.0040-00470的钨和/或钼而获得所述透明导电薄膜用靶,
出处
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
2005年第2期73-73,共1页
Surface Technology
关键词
透明导电薄膜
有机电致发光元件
太阳能电池
制造方法
电极材料
显示器
主要组分
氧化铟
粉末成形
氧化钼
钨粉末
原子比
溅射
In
分类号
TN304.055 [电子电信—物理电子学]
TN383.1 [电子电信—物理电子学]
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