一种高g电容加速度计的设计

本文分析了电容式加速度传感器的工作原理,在此基础上设计了一种大量程加速度计,通过MATLAB进行系统仿真和ANSYS仿真验证,结果显示本设计可以很好的实现要求:量程70g,线性度小于2%,并有较好的稳定性。