摘要
诺发公司(NOVELLUS)宣布开通翻新系统业务，以满足特定市场区域对200mm制造设备不断增长的需求。该业务将从等离子体增强化学气相沉积、钨化学气相沉积以及高密度等离子体化学气相沉积等业务部门开始。而化学机械研磨和光阻去除设备的翻新将在稍后陆续展开。同时，NOVELLUS还将根据客户的需求定制出一整套的系统改进并综合全面的技术支持，从而帮助客户获得可以取代新系统的翻新工艺设备。
出处
《电子设计应用》
2005年第4期127-127,共1页
Electronic Design & Application World
