光刻工艺稳定性研究

光刻技术是一种精密的表面加工技术,它是一种图形技术与图形刻蚀工艺相结合综合性工艺,是平面工艺中至关重要的一步,其工艺质量是影响器件性能、可靠性及成品率的关键因素之一。本文主要介绍了光刻工艺中容易出现的问题及解决方法,并通过分析和实验得出了稳定性方案。