大片玻璃孔加工方法的实验研究

本文针对扩散 硅压力传感器在生产中, 大片静电封接对大片玻璃 钻孔的要求,提出了高效 玻璃钻孔的新方法——超 声波多工具钻孔;并通过 实验,对该方法在加工过程中所具有的特性进行了重点研究;同时,阐述了该方法对传感器生产的适用性;指出了该方法在实际生产中应用所需解决的技术关键。