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微机械梁膜结构1kPa量程压力传感器
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摘要
采用微机械加工技术可以制作出管芯尺寸小而灵敏度很高的压力传感器。目前微压压力传感器产品的量程已达5~10kPa。本文介绍了采用微机械梁膜结构的压力传感器设计(PT—24),结合适当的工艺可以制成量程为1kPa的器件。
作者
鲍敏杭
沈绍群
普琦
机构地区
复旦大学电子工程系传感器室
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
1994年第2期7-9,共3页
Instrument Technique and Sensor
关键词
梁膜结构
微压
压力传感器
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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