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新结构的硅一体化双岛压力传感器
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摘要
本文所述的新结构的硅一体化双岛压力传感器与传统的双岛压力传感器相比具有温度特性好、工艺简单等优点,对过载保护后传感器输出特性的饱和,给出了一个新的解释。
作者
蒋晓波
机构地区
浙江大学
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
1994年第6期21-22,41,共3页
Instrument Technique and Sensor
关键词
压力传感器
键合
过载
传感器
硅压力传感器
分类号
TH823.2 [机械工程—精密仪器及机械]
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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仪表技术与传感器
1994年 第6期
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