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环球仪器在SEMICON CHINA2005展出其得意产品--GSMXS平台
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摘要
在刚刚结束的SEMICON展览期间,环球仪器展出在线晶圆增强功能GSM平台,以满足先进半导体装配的需要。这项在线晶圆增强功能对处理单-300mm规格晶圆尤其有效,同时还保留了晶圆送料器处理多种规格晶圆工艺的离线晶片扩容能力。
出处
《中国集成电路》
2005年第4期6-7,共2页
China lntegrated Circuit
关键词
SEMICON
仪器
产品
增强功能
GSM平台
扩容能力
晶圆
半导体
送料器
在线
规格
晶片
分类号
TN3-28 [电子电信—物理电子学]
TP216 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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