超精密磨削中的尺寸在线测控技术

在柴油机燃油泵里,有几种精密偶件副,如喷油嘴、柱塞副等,其技术条件要求极高:表面粗糙度通常为Rα0.1～0.05,几何形状精度通常为0.3～0.5微米;直径尺寸配合精度一般要求达到微米级。按照传统的工艺方法,需经过多次研磨,检测分级。