可改善光谱范围的红外探测器列阵

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摘要本发明提供一种可扩大光谱范围的红外探测器．该探测器有两个衬底，第一个衬底由磷化铟制成，它上面有一层砷镓铟膜层．第二个衬底由硅制成，它有一个读出集成电路，该读出集成电路与上述第一层膜层在电学上是耦联的．在砷镓铟材料形成之后，用机械技术或化学腐蚀工艺将第一个衬底大大减薄，便可以使该红外探测器的光谱范围超过常规红外探测器的光谱范围．

作者高

出处《红外》 CAS 2005年第4期45-45,共1页 Infrared

关键词光谱范围红外探测器列阵读出集成电路化学腐蚀工艺机械技术砷镓铟衬底磷化铟制成膜层减薄硅

分类号 TN215 [电子电信—物理电子学]

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