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扫描电镜电压衬度像和束感生电流像技术及其在失效分析中的应用研究
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摘要
本文简要介绍了扫描电镜电压衬度像和束感生电流像(EBIC)技术的原理、发展、现状以及在半导体器件失效分析中的一些应用研究和典型案例。
作者
何涛
雷祖圣
机构地区
中国航天工业总公司
出处
《宇航材料工艺》
CAS
CSCD
北大核心
1994年第5期39-42,共4页
Aerospace Materials & Technology
关键词
扫描电镜
电压衬度
束感生电流像
失效分析
分类号
TN16 [电子电信—物理电子学]
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