扫描电镜电压衬度像和束感生电流像技术及其在失效分析中的应用研究

本文简要介绍了扫描电镜电压衬度像和束感生电流像（ＥＢＩＣ）技术的原理、发展、现状以及在半导体器件失效分析中的一些应用研究和典型案例。