非接触光学点位显微镜误差分析

对可用于非接触测量叶轮、曲面面形、软质材料工件形位误差的光学点位显微镜的测量原理及纵向瞄准、定位误差进行了分析，指出适当选择好参数，纵向定位瞄准误差从理论上可达±（１～３）μｍ。实验表明，被测工件表面漫反射特性对纵向定位瞄准有一定影响，其纵向定位瞄准分散值一般可控制在±（３～５）μｍ左右。该装置是一种非常实用、使用方便的纵向定位瞄准装置。